超精密定壓定量復(fù)合控制磨床的特點(diǎn)：

1.加工效率，品位，極少SSD，工具壽命。
在所有方面都超過(guò)了傳統(tǒng)的加工方法。
在東北大學(xué)的共同研究中誕生了劃時(shí)代的難削材料的磨削加工方法。通過(guò)自主開發(fā)的智能車輪和定壓定量復(fù)合控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高加工效率、品位、SSD的極小化和工具壽命。
2.始終保持最佳加工狀態(tài)
是為了極少地抑制對(duì)工件的損害而開發(fā)的劃時(shí)代的技術(shù)。隨時(shí)檢測(cè)施加在工件和砂輪上的壓力，通過(guò)NC復(fù)合控制切入壓力和量。總能實(shí)現(xiàn)在最佳條件下的磨削加工。
3.創(chuàng)造超鏡面、超平面成為可能
砂輪軸及工件軸軸承采用非接觸多面油靜壓方案內(nèi)。通過(guò)優(yōu)異的振動(dòng)衰減性，實(shí)現(xiàn)沒有平面抖動(dòng)的超精密旋轉(zhuǎn)和高精度的上下軸定位，創(chuàng)造出以往沒有的超鏡面和超平面。
4.加工面無(wú)傾倒的超高剛性結(jié)構(gòu)。
通過(guò)高剛性床鋼架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，各軸極少單獨(dú)切入和加工面傾倒。
5.可以測(cè)量晶圓厚度，進(jìn)行自動(dòng)加工。
自動(dòng)加工、無(wú)塵室對(duì)應(yīng)也可能。
可選地以±1μm精度測(cè)量工件厚度，可對(duì)應(yīng)自動(dòng)加工。而且也可以支持自動(dòng)作業(yè)供應(yīng)、潔凈室規(guī)格(詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)咨詢本公司總部營(yíng)業(yè)處)。

超精密定壓定量復(fù)合控制磨床的參數(shù)：